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Produkte und Dienstleistungen
SemiLev Efem mit kontaktlosem Handlingroboter innen
Kontaminationsvermeidung in der Halbleiterindustrie
SemiLev bietet berührungslose Handhabungslösung
Die Begrenzung des Ausschusses wird zu einem immer wichtigeren Erfolgsfaktor bei der Herstellung von Computer-Chips. Neben Designfehlern, Fehlern in der Lithographie oder beim verwendeten Material sind dafür insbesondere Verunreinigungen (Partikel) verantwortlich. Kontamination ist mittlerweile für bis zu 60 % des Ausschusses einer Chipfabrik ausschlaggebend. Sie entsteht insbesondere aufgrund von Abrieb der eingesetzten Gleitlager, der Ausdünstung von Schmiermittel in den jeweiligen Prozessmaschinen, die die Bearbeitung von Wafern in einer Chipfabrik vornehmen oder elektrostatischer Aufladung bei der Handhabung von Wafern und Fotomasken. Zudem sorgen Kabelbäume, die zur Übertragung von Strom oder Daten in die bewegten Teile der Produktionsmaschinen verbaut sind, für Abrieb oder Luftverwirbelungen, die kleinste Partikel, die sich am Boden von Prozessmaschinen ansammeln sollten, ungewollt auf der Oberfläche von Wafern und Masken ablagern und damit Defekte verursachen. Bei den immer kleiner werdenden Strukturbreiten von mittlerweile unter 30 nm in der Produktion (und unter 20 nm in der Forschung) sind kleinste Partikel nicht nur auf der Oberfläche eines Wafers oder der Maske ein Problem, sondern in Zukunft auch auf deren Rückseite, weil sie zu Ungenauigkeiten im Lithographieprozess führen, die Defekte verursachen können. Gleiches gilt beim Bonden ganzer Wafer anstelle von einzelnen Chips wie bisher.
SemiLev ist der erste Ausrüster für die Halbleiterindustrie, der konsequent auf Abrieb verursachenden Gleitlager, den Einsatz von Schmiermitteln oder kabelgeführter Energie- und Datenübertragung zu beweglichen Teilen im Handhabungsprozess von Wafern und Masken verzichtet. Dies ist möglich, weil SemiLev konsequent auf berührungslose Handhabung mittels Levitation setzt, eine induktive Stromversorgung aller beweglichen Teile seiner Anlagen vornimmt und sämtliche Datenübermittlung drahtlos erfolgt.
Kernstück der SemiLev-Entwicklung ist ein durchgängig berührungsloser Roboter, der in eigenentwickelten Equipment-Frontend-Modules (Efem) und Sortern eingesetzt wird. Diese Geräte werden von Prozessorherstellern (IDMs), Lohnfertigern in der Chipherstellung (Foundries), Rohwaferherstellern sowie OEMs, die die Chipindustrie mit Prozessmaschinen ausrüsten, nachgefragt. In einer modernen Chipfabrik gibt es jeweils ca. 800 bis 1000 Prozesstools, für die das hier beschriebene Kontaminationsproblem relevant ist. SemiLev schätzt, dass es mit seinen Lösungen in der Lage ist, seinen Endkunden durch die Reduzierung des kontaminationsbedingten Ausschusses bis zu US$ 60 Mio. pro Chipfabrik einzusparen.
Ansprechpartner
Willi Rugen
Telefon: 06022 26-1800
E-Mail: rugen@semilev.de