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PRODUKTE UND DIENSTLEISTUNGEN
Silizium-Dicke an 5 Stellen gleichzeitig messen
CHRocodile MI5 von Precitec schafft neue Potenziale bei der Wafer- und Solarzellen-Herstellung
Beispielanwendung: Waferdickenmessung mit CHRocodile MI5
Die berührungslose und gleichzeitig äußerst genaue Schichtdicken- und Abstandsmessung mit interferometrisch arbeitenden Messsystemen hat sich bei der Halbleiter- Herstellung mittlerweile bewährt. Zu dieser Familie gehört auch der neue CHRocodile MI5 Sensor von Precitec Optronik.
Technologischer Kern des neuen Geräts ist der bereits im Solar- und Halbleiterbereich etablierte CHRocodile IT Sensor. Dieser durchleuchtet das zu vermessende Material von nur einer Seite mit Infrarotlicht. Das von Ober- und Unterseite zurück reflektierte Licht wertet er anschließend mittels Fourieranalyse aus und berechnet daraus die exakte Schichtdicke des Halbleitermaterials.
Mit dem neuen CHRocodile MI5, der Weiterentwicklung des CHRocodile IT, bietet das Unternehmen jetzt eine flexible Alternative zur mehrkanaligen Vermessung von Wafern und Solarzellen. Besonderes Merkmal: DerSensor hat einen modularen Aufbau und kann gleichzeitig an bis zu 5 Messstellen hochgenaue Schichtdicken- und Abstandsmessungen durchführen. Wofür früher fünf einzelne CHRocodile IT Sensoren benötigt wurden, genügt heute ein vollbestückter
CHRocodile MI5. Für den Anwender bedeutet das eine erhebliche Kosten- und Platzeinsparung.
Durch das robuste und einfache Messverfahren kann die Dickenmessung z.B. direkt inline während der Produktion über einem laufenden Förderband erfolgen. Der Messabstand zum Objekt ist dabei variabel (23 mm sind Standard). 4000 Punktmessungen pro Sekunde liefern hierbei mit einer Genauigkeit von bis zu 70 nm die Grundlage für höchste Qualitätsstandards. Selbst glänzende und wellige EFG-Wafer bzw. String-Ribbon-Produkte werden einfach und schnell erfasst. Der neue CHRocodile MI5 misst ebenso die Schichtdicke von Silizium und GaAs-Materialien bis zu 1mm als auch von transparenten Folien und Lacken bis zu einer Stärke von 2,5 mm. Alle erfassten Messwerte können direkt zur Inline-Prozesskontrolle und -steuerung sowie Excel-Dokumentation eingesetzt werden. Via USB oder RS232/RS422 sind die Daten gleichermaßen auslesbar.
Ansprechpartner
Matthias Noll
Telefon: 06106 8290-0
E-Mail: m.noll@precitec-optronik.de